尘埃粒子计数器的计数效率指测量到的粒子数与悬浮微粒实际粒子数之比，其数值代表测量结果的可信度。国际标准ISO 21501-4—2007[7]规定：当尘埃粒子计数器检测粒径为最小可测粒径附近的颗粒时，计数效率应为（50±20）%；当检测粒径为1.5~2 倍最小可测粒径时，计数效率应为（100±10）%。如果直接利用标准尘埃粒子计数器的粒径下限对被校准的尘埃粒子计数器粒径下限（通常为100、300 nm）进行标定，测量结果的不确定度大。凝结核粒子计数器粒径的测量量程可达到4.5~3 000 nm，测量精度为5%，因此采用凝结粒子计数可对尘埃粒子量程的计数效率进行有效标定。以美国Thermo 公司生产的3300A 型聚苯乙烯乳胶粒子为气溶发生器的标准物质， 粒径为0.3 μm，99%以上的颗粒粒径分布在0.28~0.32 μm，且无粒径小于0.22 μm 的颗粒。将德国Grimm 公司生产的5403 型凝结核粒子计数器和美国Metone 公司生产237B 型尘埃粒子计数器进行比对， 通过改变差分电迁移器的粒径档位，对尘埃粒子计数器的计数效率进行评定，结果如表1 所示。以编号为GBW12031 的国家标准物质聚苯乙烯乳胶粒子为气溶发生器的标准物质， 粒径为0.5 μm， 99%以上的颗粒粒径分布在0.48~0.52 μm，差分电迁移器的粒径档位设为498 nm，结果如表2 所示。尘埃粒子计数器的总计数值满足泊松分布[8]。如果泊松分布的计数值为 N， 则相对误差为 1/姨N ，因此采样流量越大，单位时间内计数总值越大，相对误差越小， 但是现有校准方法和校准设备不能满足对大气流量尘埃粒子计数器的校准， 如体积流量为50、100 L/min 的尘埃粒子计数器。本文中介绍新的校准方法，可以动态调节校准时所需气溶胶的浓度，实现不同流量尘埃粒子计数器的校准。校准时，在尘埃粒子计数器的入口处连接动态的气溶胶稀释器的出口，稀释器的入口处为与凝结核粒子计数器中的粒子相同的浓度和粒径的气溶胶，稀释气体为经过孔径为0.1 μm 的滤膜的洁净气体， 稀释器的稀释倍数在1～200 内可以准确调节，稀释后的气溶胶的最大体积流量可达110 L/min。当气溶胶的稀释比例已知时，将尘埃粒子计数器的测量值与稀释比例的乘积COPC D 与凝结核粒子计数器的测量值CCPC进行比对，即可以实现尘埃粒子计数量值的校准。实验过程中，以粒径为0.5 μm 的聚苯乙烯乳胶粒子为标准物质对4 种不同流量的尘埃粒子计数器进行计数效率评定， 并对通过改变粒子浓度对体积流量为100 L/min 的尘埃粒子计数器进行多次测量，结果如表3、4 所示。由表可知，在相同的实验条件下，采用大流量的尘埃粒子计数器提高了单位时间的气体采集量，测量数据的稳定性更高，能够更准确地对洁净室的洁净等级进行评定。