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Lighthouse SOLAIR1100粒子计数器+ HPC1100压缩空气采样器的组合应用

 更新时间:2026-08-14 点击量:22

Lighthouse 粒子计数器 SOLAIR1100 与 HPC1100 或 HPM1100+ 主要用于压缩气体洁净度测量,二者组合可在半导体、航空航天等对气体纯度要求较高的行业发挥重要作用。具体如下:

组合原理:SOLAIR1100 激光粒子计数器具有 0.1μm 的高感应度,流速为 28.3L/M,但其激光腔室不能直接承受压缩气体的压力,否则会导致内部损坏。而 HPC1100 高压气体控制器正是为 SOLAIR1100 配套设计的。它可以将高压压缩气体减压,使气体以合适的压力和流速进入 SOLAIR1100 进行粒子计数测量,从而在满足测量需求的同时保护粒子计数器的激光腔室。

在具体使用时候,应该先把压缩空气采样器连接在压缩空气上,打开压力阀,检查一下浮子流量计流量是否在30L左右,然后再把1100粒子计数器连接在高压扩散器上,进行采样。

应用场景:在半导体制造过程中,需要使用大量的高纯气体,如氮气、氩气等,SOLAIR1100 和 HPC1100 组合可实时监测这些气体中的粒子含量,确保气体纯度,防止粒子污染影响芯片制造质量。在航空航天领域,对于一些关键部件的制造和装配环境,不仅要监测环境空气洁净度,对用于清洗、保护等用途的压缩气体洁净度也有严格要求,通过该组合可有效监测压缩气体洁净度,保障航空航天部件的质量和性能。