简要描述:产品名称:高压控制器产品型号:HPC1100品牌:LIGHTHOUSE美国莱特浩斯采样流量:28.3L/min粒径范围:0.1μm 或更大流速:1.0 CFM输出压力:接近大气压输入压力:30-150 psi尺寸:14.22 x 19.30 x 26.21 cm
设计采用了新技术, 在高压气体成分,HPC 1100允许LIGHTHOUSE 0.1μm的粒子计数器对高压(30-150 psi)的惰性气体系统提供工艺气体污染的监测能力。
HPC 1100的不锈钢设计坚固耐用,可靠,几乎不需要日常维护和校准。在正常操作过程中,惰性气体可被回收采样过程中使用100%的供气。
特征
优点
应用
· 可用于任何惰性气体
· 轻松设置
· 安装简单
· 前置流计
· 直观的用户控制
· 安静的操作
· 快速清除和清理
· VCR接头内部和外部
· 不锈钢结构
· 在正常操作过程中的零气体废物
· 近常压输出
· 低噪声
· 小尺寸
· 便于系统集成
· 2年保修的
· 较低的拥有成本
· 工艺鉴定
· 半导体制程监控
· 平板过程监控
· 过程趋势分析
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